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Prosis Co., Ltd.
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설비 > AUTO PEELER (필름박리장비)
◎사양
박리방식 : 점착테이프 
대상기판치수 : 폭 610~400mm , 길이 520~300mm 
대상기판두꼐 : 0.05~2mm
처리량 : 14초/1매 (260매/Hr)　(주1)
기판반송 : 수지 링 롤러(주요부)
기판가이드 : 없음
기판 폭조정 : 있음
사전박리장치 있음(Knurling장치)
기판 폭조정 : 있음
(주1)　조건에 따라 박리 성능이나 처리량이 변화하는 경우가 있기 때문에,
사전에 폐사 시험기로 확인해 주세요.
◎특징
1. 점착 테이프 박리방식으로、깨끗한 박리가 가능합니다.
또한、기판에의 데미지가 거의 없습니다.
2. 박리에 에어를 사용하지 않으므로、레지스트칩의 비산이 거의 없습니다.
3. 기판치수의 변경시에、단변경의 필요가 없습니다.
4. 필링 점착위치 변경시、조작화면에서 대응가능합니다
5. 운전조건은 조작화면에서 변경가능합니다.
5. 각종옵션에 대응가능합니다.
예)　정전기제거、FFU、등
프로시스(주) 18469 경기도 화성시 동탄기흥로 565(영천동) YK퍼스트타운 305호
TEL: 031-378-6560 FAX: 031-378-6561 E-mail : prosis@e-prosis.co.kr
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